KW-4T匀胶机(spin coater) 有六个转速,转速及相应的时间分别可调。在旋涂2 英寸以上样片时,启动后先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。在甩小样片时,启动后可直接用高速。在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。适用于Φ5 至Φ100mm基片。
具体操作使用步骤如下:
1、选择合适的片托(略小于样片尺寸),将缺口对准螺钉,片托安装时一定要到底;
2、确保外围连接无误后,插上设备后部的交流220V 电源线,按下前面板的“POWER"键,设备开关上的指示灯亮;液晶屏幕出现开机界面,1-2 秒后,自动切换进入设置界面。
3、根据实际需求,选用不同的阶段,进行设置。轻触“速度"与“时间"对应的文本栏,会弹出键盘界面。
当大于三阶段时,请轻触界面上“更多工艺"按钮,弹出下图阶段界面,进行设置;
4、设置完成后,轻触界面上“吸片"键,会听到设备内清脆的电磁阀吸合声音,此时“开始"键由灰色变成绿色,等待2 秒后再轻触“开始"键,设备开始运行。在界面右侧的“当前状态"会实时显示对应的阶段、速度以及剩余时间。
在运行过程中,如果需要停止/暂停,可以分别轻触“停止"/“暂停"键。
【二者区别】
(1)“停止"键按下后,电磁阀切断气路,样片可以取下,更换样片后,重新按照“吸片"→ “开始"步骤,设备开始旋转工作;
(2)“暂停"键按下后,设备停止旋转,真空泵依旧吸附样片,重新“开始"后,会从第一阶段重新开始。
5、工作完成后,轻触“停止"键,会听到电磁阀清脆的断开声音。关闭前面板的“POWER"。
上一篇 : 浅谈引线键合Wire Bonding工艺(一)
下一篇 : EPO-TEK 353ND使用参考