湿法刻蚀处理系统刻蚀率受到影响的因素

 　　湿法刻蚀处理系统中的湿法刻蚀指将刻蚀材料浸泡在具有腐蚀性的溶液中，利用溶液的腐蚀性对材料进行加工处理的技术。即是中学化学知识中化学溶液腐蚀的概念，是一种纯化学刻蚀方法，具有优良的选择性。在刻蚀完区域后就会停止刻蚀，从而不会损坏其它不需要加工区域的材料。优势在于其所采用的马达为高性能无刷电机，12000转/分钟的旋转速度和高达30000转/秒的旋转加速度，使其能够快速生产从几纳米到几微米厚的均匀薄膜。