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加热型匀胶机由哪些装置组成?

发布时间:2022-05-23   点击次数:120次
    加热型匀胶机由样品台、滴胶装置和空心电动机组成,其工作原理是,通过在样品台上产生负压将需要旋涂的基底材料吸附在样品台上,光刻胶液滴注在基底材料的表面,通过准确控制电动机的旋转速度,以此来改变离心力的大小,同时通过控制胶液的流量来达到制备薄膜所需的厚度。
  加热型匀胶机产品特点介绍:
  可更换阳极氧化铝加热转盘,标准尺寸Φ10,Φ25,Φ50三种规格可选;
  7寸全彩触屏操作,自带触屏笔,图形化人机界面,简单易用;
  自带排废功能,便于废胶的收集处理;
  带一路自动点胶端口,可升级自动点胶功能,进一步提高实验重复性;
  HDPE高分子内腔,热幅射式盖子,钣金烤漆外壳,结构紧凑,美观大方;
  200W发热部件,加热速度快,表面热均匀性高,PID高精度控温系统;
  采用间接式传动方式,可靠的隔热设计,避免加热部件对电机性能影响;
  可嵌入式设计安装,降低高度放置在手套箱内操作。
  加热型匀胶机在旋涂过程中会出现边缘效应,这是由于在旋涂的过程中溶剂的挥发导致表面和边界处光刻胶的浓度和黏度都增大,从而引起边缘位置较中心位置要厚一些,因此基片边缘需要经过去边处理。去边处理包括基片正面和背面的化学去边处理,以及基片正面的光学去边处理。
 

加热型匀胶机

 

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