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Laurell 650匀胶机

更新时间:2022-09-01

访问量:335

厂商性质:代理商

生产地址:美国

简要描述:
Laurell 650匀胶机WS-650Mz-23N具有稳定的转速和快速的启动,可保证胶厚度的一 致性和均匀性,具有美国国家标准技术研究院(NIST)认证;
品牌其他品牌价格区间5万-10万
产地类别进口应用领域医疗卫生,化工,能源,电子,航天
适用基片最大尺寸150毫米直径圆片/5英寸方片旋转转速范围100~12000RPM
旋转最大加速度12000RPM/S转速精度小于0.2rpm
外壳材质NPP(天然聚丙烯)

一、Laurell 650匀胶机产品特点:
采用NPP外壳材质,PLC控制,速度可调节,在启动之后一般工艺先以低速运转使胶摊开,然后自动变到高速运转,步骤转速及相应的时间分别可调;

二、Laurell 650匀胶机WS-650Mz-23NPPB技术参数:
1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径圆片,方片125x125mm;
3、转动速度:100-12,000rpm,
4、旋涂加速度:1-12000rpm/sec(空载);
5、马达旋涂转速:稳定性能误差<± 1 %;
6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、高 精 度 数 码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证;
12、配套真空泵系统:无 油 型 220~240伏交流,50/60赫兹;

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