德国PVA TePla等离子清洗机

一、德国PVA TePla等离子清洗机IoN 40功能特性：

●  灵活的电极设计保证了工艺的均匀性

●  使用Windows系统的工业计算机控制

●  触摸屏操作，图形用户界面（GUI）

●  菜单驱动式工艺过程

●  绘图和自诊断功能

●  以太网通讯功能

●  节能模式

●  工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

●  安装简单快捷

二、德国PVA TePla等离子清洗机IoN 40规格参数：

1、工作腔室材料：铝

2、容积：36.5 升

3、内部尺寸：229 x 330 x 483 mm

4、可选电极

● 可抽卸的多层电极板

● 垂直电极

● 3层温控电极

● 低微粒电极

● 次级等离子体电极

5、质量流量控制计：最多至6路气体

6、工艺压力：200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)

7、抽真空时间：大约1分钟 (取决于真空泵)

8、放气：可调

9、射频发生器：风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)

10、供给需求电源：220V 单相,2.3 KW, 50Hz

11、工艺气体：输入压力 1-2 bar

12、吹扫气体：输入压力 1-2 bar

13、压缩空气：输入压力 4-6 bar

14、尺寸：宽/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）

15、重量：约157千克（不含泵）

可选配项

● 压力控制器

● 1%精度的真空规

● 指示灯柱

● 条形码阅读器

● 工艺气体切换器

● 光谱终点检测器

● 300 瓦13.56 MHz射频发生器

● 水冷机

● 单体处理装置

● 真空泵（油泵或干泵）

● 气相MFC