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德国PVA TePla等离子清洗机

更新时间:2022-09-01

访问量:249

厂商性质:代理商

生产地址:德国

简要描述:
德国PVA TePla等离子清洗机IoN 40是为实验室和生产领域涉及的全功能的等离子表面处理设备。该设备外观简洁、高度集成化,可应用在半导体、医疗诊断、光学、电子等领域对各种材料的表面进行去胶、清洁、化学修饰或涂层沉积。
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域环保,能源,电子,印刷包装,航天工作腔室材料
工艺压力?200-2000?mTorr(取决于真空泵和气体流量)射频发生器?风冷13.56MHz,600?瓦(标准配置)

一、德国PVA TePla等离子清洗机IoN 40功能特性:

●  灵活的电极设计保证了工艺的均匀性

●  使用Windows系统的工业计算机控制

●  触摸屏操作,图形用户界面(GUI)

●  菜单驱动式工艺过程

●  绘图和自诊断功能

●  以太网通讯功能

●  节能模式

●  工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

●  安装简单快捷


二、德国PVA TePla等离子清洗机IoN 40规格参数:

1、工作腔室材料:铝

2、容积:36.5 升

3、内部尺寸:229 x 330 x 483 mm

4、可选电极

● 可抽卸的多层电极板

● 垂直电极

● 3层温控电极

● 低微粒电极

● 次级等离子体电极

5、质量流量控制计:最多至6路气体

6、工艺压力:200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)

7、抽真空时间:大约1分钟 (取决于真空泵)

8、放气:可调

9、射频发生器:风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)

10、供给需求电源:220V 单相,2.3 KW, 50Hz

11、工艺气体:输入压力 1-2 bar

12、吹扫气体:输入压力 1-2 bar

13、压缩空气:输入压力 4-6 bar

14、尺寸:宽/高/深 775 x 723 x 781 mm(不含泵)

15、重量:约157千克(不含泵)


可选配项

● 压力控制器

● 1%精度的真空规

● 指示灯柱

● 条形码阅读器

● 工艺气体切换器

● 光谱终点检测器

● 300 瓦13.56 MHz射频发生器

● 水冷机

● 单体处理装置

● 真空泵(油泵或干泵)

● 气相MFC

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