产品中心您的位置:网站首页 > 产品中心 > 等离子清洗机 > 真空等离子清洗机 > PIE Tergeo系列Tergeo等离子清洗机

Tergeo等离子清洗机

更新时间:2022-09-01

访问量:951

厂商性质:代理商

生产地址:美国

简要描述:
Tergeo等离子清洗机是美国PIE Scientific公司开发的一款优秀等离子清洗机,采用全彩触摸屏控制,简单易用、功能强大,可用于等离子蚀刻、清洁、表面处理、离子和电子束生产等多种应用。
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域医疗卫生,能源,电子,印刷包装,航天RF射频频率13.56MHz

一、Tergeo等离子清洗机-主要配置:

产品型号:TergeoTergeo   Plus
腔室大小:内径φ110mm,深度280mm内径φ160mm,深度280mm
腔室材质:高纯度石英玻璃,相对于派瑞克斯(Pyrex)玻璃有着更强地耐腐蚀性和更少地碱杂质;
常用气体:空气,氧气,氢气,氩气,氮气和其他混合气体;
气路控制:标配两路MFC,可选配三路MFC;
射频频率:13.56 MHz,远高于同条件下KHz频率所产生的等离子密度;
射频功率:

Tergeo 0~75W连续可调,可选配到150W;

Tergeo Plus标配150W,可选配到300W和500W;

射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整;

程序设置:共有20个可设置的程序配方,工作顺序中最多有三个清洁步骤。
用户界面:7英寸电阻触摸屏,可用手指触摸,无需手写笔。
操作方法:自动配方执行:自动工作序列执行;手动操作。

Tergeo plasma cleaner.jpg

二、Tergeo等离子清洗机-主要用途:

【1】清洗纳米级样品;

【2】蚀刻光刻胶,除渣、硅片清洗;

【3】引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封;

【4】PDMS/微流控/载玻片/芯片实验;

【5】改善金属与金属或复合材料的结合;

【6】激活聚合物上的官能团,实现亲水或疏水润湿性,提高粘合强度和可印刷性,促进医疗设备的生物相容性。

载玻片的亲水处理


三、Tergeo系列等离子清洗机-产品优势:

【1】外部电极的设计提高等离子体的均匀性;

【2】*的等离子体传感器技术,用于定量的等离子体强度测量;

【3】直接/浸入模式和远程/下游等离子体处理模式在一个系统中的应用;

【4】连续和脉冲等离子体可以改变3-4个数量级的清洗速度;

【5】高频13.56MHz rf电源,具有自动阻抗匹配功能。在相同的额定射频功率下,MHz等离子体系统的效率比KHz等离子体系统高很多倍;

【6】先进的过程控制技术;

【7】质量流量控制器(MFC)调节气体输入,而不是手动转子流量计或粗针阀;

【8】先进的数字压力传感器用于精确的压力监测;

【9】全自动化操作,支持20种程序配方;

【10】直观的电阻式触摸屏用户界面;

【11】外部射频电极和石英室可以消除内部金属电极的等离子体系统的金属污染问题;

637898698304153539867.jpg

四、供应商简介:

武汉月忆神湖科技有限公司简称“武汉月忆",是中国大陆的一家创新型科技公司,总部位于九省通衢-湖北武汉。

主营实验室仪器、试剂耗材等,旨在为半导体芯片制造、MEMS、钙钛矿太阳能电池以及微流体芯片制造等领域的广大科研工作者提供专业的解决方案和性能优异的产品,在仪器仪表-实验仪器装置行业获得广大客户的认可。

公司秉承“精工品质,用心服务"的经营理念,坚持“以客户服务为中心"的原则为广大客户提供优质的服务。

“买仪器 选月忆",欢迎您来电垂询!



































留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

联系我们

contact us

咨询电话

13277928895

微信客服

返回顶部