品牌 | Agilent/安捷伦 | 价格区间 | 2万-3万 |
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仪器种类 | 真空泵 | 产品类型 | 无油泵 |
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子 |
极限压强 | 250mTorr |
一、Harrick Plasma等离子清洗机真空泵IDP-3 产品特点:
1、采用独立马达与轴承的密封设计;
2、系统运行稳定,低噪声、低振动、低泄漏;
3、与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强;
4、外型尺寸:351x181x140mm
5、电源系统:电压 200 ~ 220 VAC (50/60 Hz)
6、适用于小型等离子体设备把氧气作为工艺气体环境;
二、Harrick Plasma等离子清洗机真空泵IDP-3 技术参数:
抽速 | 50Hz, 50 l/m, 3 m 3 /hr, 1.8cfm |
极限压强 | 2.5X10 -1 torr/3.3X10 -1 mbar |
进气口压强 | 低于1 个大气压/0PSI |
出气口压强 | 低于1.4 个大气压 6.5PSI |
进气口法兰 | NW16KF 法兰 |
出气口法兰 | 1/4NDP |
工作温度 | -5-45℃/41-113℉ |
存放温度 | -20-60℃/41-113℉ |
发动机功率 | 0.16 马力/0.12kW |
电源 | 单相,-220-240VAC,50-60Hz |
转速 | 2600PRM |
冷却 | 空气自然冷却 |
重量 | 9.5Kg/21Ibs |
漏率 | <1X10 -6 std-cc/sec |
噪音(每 ISO1120) | 55db/A |
进气口震动(每 ISO10816-1) | 1.5mm/sec |
限制 | 不要接近易腐蚀,易爆物及特殊气体 |