品牌 | 其他品牌 | 适用基片最大尺寸 | 260mm直径圆片,6英寸方片 |
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旋转转速范围 | 1~12000RPM** | 旋转最大加速度 | 30000RPM/S |
转速精度 | ±0.1rpm |
一、匀胶机工作原理:
匀胶机(英文名:Spin Coater & Spin Processor) 行业俗称:匀胶台、甩胶机、旋涂机、涂胶机、镀膜机、涂层机等,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶旋涂机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
二、德国POLOS匀胶机 SPIN200i产品概述:
SPIN200i采用了无刷式马达,可实现基底片顺时针、逆时针方向旋转,拥有着比一般地有刷电机单向旋转所没有的优势,同时也具有着更好的耐腐蚀性,适应于钙钛矿太阳能电池制备、半导体芯片制造、MEMS制版的表面涂覆。且具有稳定的转速和快速的启动,可以保证旋涂过程中胶厚度的一致性和均匀性。
三、德国POLOS匀胶机 SPIN200i主要性能指标:
1、适用基板尺寸:10-260mm直径圆片,6英寸方片;
2、旋涂腔体直径:302 毫米;
3、旋涂转速范围: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
4、旋涂加速度:1~30000RPM/S;
5、旋涂精度: ±0.1rpm;
6、程序段数:无限制;
7、操作步数:无限制;
8、旋转时间:无限制*,±0.1 Second steps;
9、旋转方向:顺时针,逆时针,顺、逆时针交换摆动;
10、扩展接口:1个USB接口;
11、马达保护:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可关闭);
12、马达:无刷直流电机
13、腔体材质:NPP(天然聚丙烯),特殊应用可选用高耐化学性的PTFE(TFM™);
14、排废连接:1" M-NPT;
15、触屏控制:全彩触摸屏控制界面;
16、配套真空泵系统:无 油 型 220~240伏交流,50/60赫兹;
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