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URE-2000/35紫外掩膜光刻机

更新时间:2022-09-01

访问量:252

厂商性质:代理商

生产地址:中国

简要描述:
URE-2000/35紫外掩膜光刻机采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除 曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程 度很高,操作十分方便。非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研 (可靠性好,演示方便)。
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,能源,电子,印刷包装,航天

一、URE-2000/35紫外掩膜光刻机产品特征:

URE-2000/35采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除 曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程 度很高,操作十分方便。非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研 (可靠性好,演示方便)。

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二、URE-2000/35紫外掩膜光刻机技术参数:

(1)曝光面积:4英寸

(2)曝光波长:365nm

(3)分辨力:0.8μm

(4)对准精度:±0. 8μm

(5)掩模样片整体运动范围:X:15mm; Y:15mm

(6)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;

(7)样片尺寸:直径φ10mm-- φ100mm(各种不规则片);

(8)样片厚度:0.1mm--5mm(可扩展为15mm);

(9)曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量;

(10)具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能;

(11)照明不均匀性: 3%(φ100mm 范围)

(12)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍

物镜三对:4倍、10倍、20倍

目镜三对:10倍、16倍、20倍

(13)调平接触压力通过传感器保证重复;

(14)数字设定对准间隙和曝光间隙;

(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口;

(16)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;   Y: ±5mm;  θ:±6º

(17)最大胶厚:400μm(SU8胶,用户提供检测条件)

(18)光源平行性:3.5 º

(19)曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º

(20) 单层曝光一键完成;

(21)采用球气浮自动找平;

(22)汞灯功率:350W(直流,进口汞灯);

(23)外形尺寸:1200mm(长)×900mm(宽)×1750mm(高);


三、配置

(1)曝光头

①冷光椭球镜

②350W进口直流高压汞灯(进口)

③XYZ汞灯调节台

④冷却风扇

⑥光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2

(2)对准工件台

①掩模样片整体运动台

②掩模样片相对运动台

③转动台

④样片调平机构,自动完成

⑤基片抽拉式上下机构

⑥样片调焦机构,电机自动调

⑦承片台4个:f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸(可按用户要求增减)

⑧掩模夹4个:3英寸、4英寸、5英寸(可按用户要求增减)

(3)对准显微镜

①光源(配备品2只)、 电源

②双目双视场对准显微镜主体

③目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

④物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

⑤CCD对准系统,21寸液晶显示器

(4)电控系统

①汞灯触发电源(350W直流汞灯)

②单片机控制系统

③控制柜桌

(5)气动系统

①气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

②电磁阀驱动

③气动仪表

(6)其他附件

①真空泵一台

② 空压机一台

③管道

(7)技术资料

①使用维修说明书

②显微镜使用说明书
















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