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膜厚仪

更新时间:2023-01-01

访问量:181

厂商性质:代理商

生产地址:中国

简要描述:
膜厚仪产品特点:
(1)采用光谱干涉原理进行测量,具有非接触、无破坏、快速等特点;
(2)可在真空环境使用;
(3)可与大行程工件台配合,实现大面积膜厚自动测量;
品牌其他品牌测量范围(VIS)15nm—100μm
测量重复性(RMS)0.086nm测量绝对精度(与椭偏仪对比)0.25nm
测量层数大于3层使用光源卤素灯
入射角度90°测试材料透明或半透明薄膜材料
光斑尺寸20μm—3mm(可选)测量时间100ms—4ms
通信接口USB2.0

一、膜厚仪产品组成:

(1)测试主机

(2)光纤

(3)校正件

(4)测量头

(5)夹持装置

(6)手提电脑

(7)设备箱

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二、膜厚仪产品特点:

(1)采用光谱干涉原理进行测量,具有非接触、无破坏、快速等特点;

(2)可在真空环境使用;

(3)可与大行程工件台配合,实现大面积膜厚自动测量;

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三、主要技术指标:

(1)测量范围(VIS):15nm—100μm    

(2)测量重复性(RMS):0.086nm    

(3)测量绝对精度(与椭偏仪对比):0.25nm    

(4)测量层数:大于3层;

(5)使用光源:卤素灯;    

(6)入射角度:90°    

(7)测试材料:透明或半透明薄膜材料;    

(8)光斑尺寸:20μm—3mm(可选)    

(9)测量时间:100ms—4ms

(10)通信接口:USB2.0    



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