URE-2000/17紫外掩膜式光刻机

URE-2000/17紫外掩膜式光刻机：

采用双目双视场显微镜对准、球碗调平、单片机控制、触摸开关、操作方便、实用性强。

产品特征：

（1）采用创新的多点梯形反射镜聚光构造，具有高的能量收集率和高均匀照明性;

（2）采用进口直流高压汞灯,光功率稳定性好;

（3）采用i线(365 nm)紫外曝光光源,波长单一，光谱纯净;

（4）配置高倍率双目双视场CCD显微镜和22寸宽屏液晶显示器，可通过显微镜目视和显示器同时观察对准过程,适用大视场高倍率对准;

（5）采用薄膜开关操作，数字设定曝光时间，倒计时数显，曝光量可精确控制;

（6）配置无油真空干泵,无污染，噪音小;

（7）具有碎片处理功能;

（8）关键器件采用进口国际品牌产品，整机可靠性高;

URE-2000/17紫外掩膜式光刻机 技术指标：

（1）曝光面积：100mm×100mm方形区域或者φ110mm圆形区域；

（2）光刻分辨力：1.5μm≤

（3）对准精度：±1μm    

（4）曝光波长：365nm    

（5）掩模尺寸: 2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch    

（6）样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；    

（7）照明均匀性：±6%≤（Ф100mm 范围）；

（8）汞灯功率：200W（直流、进口汞灯）；

（9）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

（10）曝光量设定：定时（倒计时方式0.1～999.9秒任意设定、设定精度0.1秒）；

（11）显微镜配置：双目双视场、物镜三对:4X、10x、20X（可置换)，目镜三对:10x、16X、20X(可置换)