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URE-2000/17紫外掩膜式光刻机:
采用双目双视场显微镜对准、球碗调平、单片机控制、触摸开关、操作方便、实用性强。
产品特征:
(1)采用创新的多点梯形反射镜聚光构造,具有高的能量收集率和高均匀照明性;
(2)采用进口直流高压汞灯,光功率稳定性好;
(3)采用i线(365 nm)紫外曝光光源,波长单一,光谱纯净;
(4)配置高倍率双目双视场CCD显微镜和22寸宽屏液晶显示器,可通过显微镜目视和显示器同时观察对准过程,适用大视场高倍率对准;
(5)采用薄膜开关操作,数字设定曝光时间,倒计时数显,曝光量可精确控制;
(6)配置无油真空干泵,无污染,噪音小;
(7)具有碎片处理功能;
(8)关键器件采用进口国际品牌产品,整机可靠性高;
URE-2000/17紫外掩膜式光刻机 技术指标:
(1)曝光面积:100mm×100mm方形区域或者φ110mm圆形区域;
(2)光刻分辨力:1.5μm≤
(3)对准精度:±1μm
(4)曝光波长:365nm
(5)掩模尺寸: 2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
(6)样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
(7)照明均匀性:±6%≤(Ф100mm 范围);
(8)汞灯功率:200W(直流、进口汞灯);
(9)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
(10)曝光量设定:定时(倒计时方式0.1~999.9秒任意设定、设定精度0.1秒);
(11)显微镜配置:双目双视场、物镜三对:4X、10x、20X(可置换),目镜三对:10x、16X、20X(可置换)
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