产品中心您的位置:网站首页 > 产品中心 > 光刻机 > 紫外掩膜式光刻机 > URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机

URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机

更新时间:2024-01-02

访问量:1497

厂商性质:代理商

生产地址:中国

简要描述:
URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机

(1)曝光面积: 160mm ×160mm ;

(2)曝光波长: 365nm ;

(3)分辨力:≤ 1μm;

(4)对准精度: ±1 μm;
品牌其他品牌

一、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机 技术参数:

(1)曝光面积: 160mm ×160mm ;

(2)曝光波长: 365nm ;

(3)分辨力:≤ 1μm;

(4)对准精度: ±1 μm;

(5)对准系统扫描台运动范围至少满足: Y: 10 mm ;

(6)对准系统左右光管可单独 X Y Z 向运动, X向:± 5mm,Y 向:± 5mm,Z 向:± 5mm ;

(7)掩模尺寸 :7寸(向下兼容) ;

(8)样片尺寸: 6寸(向下兼容) ;

(9)适应样品厚度: 0. 5-3mm ,最大可支持 20mm 的样片(定制) ;

(10)曝光方式:定时(倒计时方式);

(11)照明不均匀性:< 3 %;

(12)双视场 CCD 对准显微镜: 变倍镜头( 1-5倍)+显微物镜

(13)掩模相对于样片运动行程至少满足: X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6º ;

(14)曝光能量密度: >35 mW/cm2,

(15)对准位 和曝光双工作,伺服电机 自动切换;

(16)调平接触压力通过传感器保证重复性;

(17)可数字设定对准间隙和曝光;

(18)触摸屏操作;

(19)外形尺寸:约 1400mm(长) x 900mm(宽) x 1500mm(高)


二、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机 设备配置:

设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。

(1)曝光头系统

● 进口紫外 LED 光源

● LED 光源整形模块

● XYZ 光源位置 调节台

● 冷却风扇

● 光学系统:(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射)

(2)对准工件台

●工位切换台(电机);

●掩模样片整体运动台;

●掩模样片相对运动台;

●转动台;

●样片调平机构,三点自动完成;

●样片调焦机构,电自动;

●基片抽拉式上下机构;

●掩模尺寸 3寸, 4寸, 5寸,7寸;

●样片尺寸: 2寸, 3寸, 4寸,6寸;

(3)对准系统

●光源、 电源

●CCD 对准系统, 22 寸液晶显示器

●左右光管可单独 X Y Z 向运动台;

(4)电控系统

●光源 电源

●控制系统

●控制柜桌

(5)气动系统

●气缸、电磁阀减压动开关等

●电磁阀驱动

●气动仪表

(6)其它附件

●真空泵一台(无油)

●空压机一台(静音泵)

●管道

(7)技术资料

●使用维修说明书

●合格证

638121348131790010251.jpg

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7