URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机

一、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机 技术参数：

（1）曝光面积： 160mm ×160mm ；

（2）曝光波长： 365nm ；

（3）分辨力：≤ 1μm；

（4）对准精度： ±1 μm；

（5）对准系统扫描台运动范围至少满足： Y: 10 mm ；

（6）对准系统左右光管可单独 X Y Z 向运动， X向：± 5mm，Y 向：± 5mm，Z 向：± 5mm ；

（7）掩模尺寸 ：7寸（向下兼容） ；

（8）样片尺寸： 6寸（向下兼容） ；

（9）适应样品厚度： 0. 5-3mm ，最大可支持 20mm 的样片（定制） ；

（10）曝光方式：定时（倒计时方式）；

（11）照明不均匀性：＜ 3 %；

（12）双视场 CCD 对准显微镜： 变倍镜头（ 1-5倍）+显微物镜

（13）掩模相对于样片运动行程至少满足： X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6º ；

（14）曝光能量密度： >35 mW/cm²,

（15）对准位 和曝光双工作，伺服电机 自动切换；

（16）调平接触压力通过传感器保证重复性；

（17）可数字设定对准间隙和曝光；

（18）触摸屏操作；

（19）外形尺寸：约 1400mm（长） x 900mm(宽) x 1500mm（高）

二、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机 设备配置：

设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。

（1）曝光头系统

● 进口紫外 LED 光源

● LED 光源整形模块

● XYZ 光源位置 调节台

● 冷却风扇

● 光学系统：（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射）

（2）对准工件台

●工位切换台（电机）；

●掩模样片整体运动台；

●掩模样片相对运动台；

●转动台；

●样片调平机构，三点自动完成；

●样片调焦机构，电自动；

●基片抽拉式上下机构；

●掩模尺寸 3寸， 4寸， 5寸，7寸；

●样片尺寸： 2寸， 3寸， 4寸，6寸；

（3）对准系统

●光源、 电源

●CCD 对准系统， 22 寸液晶显示器

●左右光管可单独 X Y Z 向运动台；

（4）电控系统

●光源 电源

●控制系统

●控制柜桌

（5）气动系统

●气缸、电磁阀减压动开关等

●电磁阀驱动

●气动仪表

（6）其它附件

●真空泵一台（无油）

●空压机一台（静音泵）

●管道

（7）技术资料

●使用维修说明书

●合格证