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一、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机 技术参数:
(1)曝光面积: 160mm ×160mm ;
(2)曝光波长: 365nm ;
(3)分辨力:≤ 1μm;
(4)对准精度: ±1 μm;
(5)对准系统扫描台运动范围至少满足: Y: 10 mm ;
(6)对准系统左右光管可单独 X Y Z 向运动, X向:± 5mm,Y 向:± 5mm,Z 向:± 5mm ;
(7)掩模尺寸 :7寸(向下兼容) ;
(8)样片尺寸: 6寸(向下兼容) ;
(9)适应样品厚度: 0. 5-3mm ,最大可支持 20mm 的样片(定制) ;
(10)曝光方式:定时(倒计时方式);
(11)照明不均匀性:< 3 %;
(12)双视场 CCD 对准显微镜: 变倍镜头( 1-5倍)+显微物镜
(13)掩模相对于样片运动行程至少满足: X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6º ;
(14)曝光能量密度: >35 mW/cm2,
(15)对准位 和曝光双工作,伺服电机 自动切换;
(16)调平接触压力通过传感器保证重复性;
(17)可数字设定对准间隙和曝光;
(18)触摸屏操作;
(19)外形尺寸:约 1400mm(长) x 900mm(宽) x 1500mm(高)
二、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻机 设备配置:
设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。
(1)曝光头系统
● 进口紫外 LED 光源
● LED 光源整形模块
● XYZ 光源位置 调节台
● 冷却风扇
● 光学系统:(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射)
(2)对准工件台
●工位切换台(电机);
●掩模样片整体运动台;
●掩模样片相对运动台;
●转动台;
●样片调平机构,三点自动完成;
●样片调焦机构,电自动;
●基片抽拉式上下机构;
●掩模尺寸 3寸, 4寸, 5寸,7寸;
●样片尺寸: 2寸, 3寸, 4寸,6寸;
(3)对准系统
●光源、 电源
●CCD 对准系统, 22 寸液晶显示器
●左右光管可单独 X Y Z 向运动台;
(4)电控系统
●光源 电源
●控制系统
●控制柜桌
(5)气动系统
●气缸、电磁阀减压动开关等
●电磁阀驱动
●气动仪表
(6)其它附件
●真空泵一台(无油)
●空压机一台(静音泵)
●管道
(7)技术资料
●使用维修说明书
●合格证
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