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Laurell匀胶旋涂机

更新时间:2023-11-14

访问量:732

厂商性质:代理商

生产地址:美国

简要描述:
Laurell匀胶旋涂机WS-650MZ-8NPPB结构紧凑,功能强大。此 650 系列旋涂仪可容纳直径达200mm 的晶圆和 7“ × 7" (178毫米×178毫米)方形基板, 转速范围100~12,000.RPM (基于ø100mm硅片)。
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一、Laurell匀胶旋涂机 650系列 产品特点:

(1)过程控制器:650 系列过程控制器利用强大的微处理器,并使用其随附的PC软件,使得在设置和使用时可以非常灵活的进行调整。该控制器允许操作员在流程执行期间实时交互,包括暂停时间、 停止并从这一点继续。

(2)系统外观材质:该系统的外壳通常采用的是NPP材质,这种材料能够抵抗溶剂和强酸、强碱。【选配】特殊的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF housing 外壳可用(常用于高温化学和亚微米颗粒研究)。

(3)Laurell自有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺腔室提供氮气吹扫,并且在现场测试期间已被证明在亚微米水平上是无颗粒的。

(4)安全设计:与操作员电气隔离、门联锁以及组件的 UL 和 CSA 认证确保了多年的安全。当真空开关未接合且盖子打开时,联锁可防止旋转,所有Laurell系统均符合CE和RoHS标准。

(5)过程保障:所有 Laurell 过程控制器的“过程保护"功能可确保同一过程不会无意中在同一基材上运行。可以轻松绕过此功能以再次运行相同的进程,而无需打开系统,或者可以在over(循环)上运行序列。


二、Laurell匀胶旋涂机 650系列 厂务条件:

(1)气源: 需要 60~70 PSIG (4–5 bar) 的氮气/CDA 对迷宫式电机密封件加压。(这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗量非常低,每小时 3 立方英尺。)

(2)真空:建议在 25 英寸汞柱下使用 28–635 英寸(~711–4 毫米)汞柱的真空,流量为 5.0 SCFM(127.0 立方米/分钟)。

(3)电源:95~240VAC, 47/63HZ, 约300 W;


三、产品应用:

Laurell WS-650 系列通常用于溶剂、碱或 酸基加工:涂层、蚀刻、显影、漂洗干燥和 清洗。虽然支持所有这些过程,但由于已知材料,Laurell 建议仅一次性使用 冲突。例如,光刻胶和显影剂(交叉污染), 和SC-1和SC-2(HCl + NH4OH), 产生 NH4Cl, 危险的吸入风险。

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*Laurell涂胶显影系列产品型号简介:


型号

控制器

大基板尺寸

大转速

650系列 匀胶旋涂仪

WS-650-23B

650 系列

ø150毫米(5英寸×5英寸)

12000rpm

WS-650-8B

650 系列

ø200毫米(7英寸×7英寸)

12000rpm

WS-650-15B

650 系列

ø300毫米(9英寸×9英寸)

12000rpm

EDC™系列 匀胶显影机

EDC-650-23B

650 系列

ø150毫米(5英寸×5英寸)

12000rpm

EDC-650-8B

650 系列

ø200毫米(7英寸×7英寸)

12000rpm

EDC-650-15B

650 系列

ø300毫米(9英寸×9英寸)

12000rpm


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