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一、Laurell匀胶旋涂机 650系列 产品特点:
(1)过程控制器:650 系列过程控制器利用强大的微处理器,并使用其随附的PC软件,使得在设置和使用时可以非常灵活的进行调整。该控制器允许操作员在流程执行期间实时交互,包括暂停时间、 停止并从这一点继续。
(2)系统外观材质:该系统的外壳通常采用的是NPP材质,这种材料能够抵抗溶剂和强酸、强碱。【选配】特殊的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF housing 外壳可用(常用于高温化学和亚微米颗粒研究)。
(3)Laurell自有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺腔室提供氮气吹扫,并且在现场测试期间已被证明在亚微米水平上是无颗粒的。
(4)安全设计:与操作员电气隔离、门联锁以及组件的 UL 和 CSA 认证确保了多年的安全。当真空开关未接合且盖子打开时,联锁可防止旋转,所有Laurell系统均符合CE和RoHS标准。
(5)过程保障:所有 Laurell 过程控制器的“过程保护"功能可确保同一过程不会无意中在同一基材上运行。可以轻松绕过此功能以再次运行相同的进程,而无需打开系统,或者可以在over(循环)上运行序列。
二、Laurell匀胶旋涂机 650系列 厂务条件:
(1)气源: 需要 60~70 PSIG (4–5 bar) 的氮气/CDA 对迷宫式电机密封件加压。(这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗量非常低,每小时 3 立方英尺。)
(2)真空:建议在 25 英寸汞柱下使用 28–635 英寸(~711–4 毫米)汞柱的真空,流量为 5.0 SCFM(127.0 立方米/分钟)。
(3)电源:95~240VAC, 47/63HZ, 约300 W;
三、产品应用:
Laurell WS-650 系列通常用于溶剂、碱或 酸基加工:涂层、蚀刻、显影、漂洗干燥和 清洗。虽然支持所有这些过程,但由于已知材料,Laurell 建议仅一次性使用 冲突。例如,光刻胶和显影剂(交叉污染), 和SC-1和SC-2(HCl + NH4OH), 产生 NH4Cl, 危险的吸入风险。
*Laurell涂胶显影系列产品型号简介:
型号 | 控制器 | 大基板尺寸 | 大转速 |
650系列 匀胶旋涂仪 | |||
WS-650-23B | 650 系列 | ø150毫米(5英寸×5英寸) | 12000rpm |
WS-650-8B | 650 系列 | ø200毫米(7英寸×7英寸) | 12000rpm |
WS-650-15B | 650 系列 | ø300毫米(9英寸×9英寸) | 12000rpm |
EDC™系列 匀胶显影机 | |||
EDC-650-23B | 650 系列 | ø150毫米(5英寸×5英寸) | 12000rpm |
EDC-650-8B | 650 系列 | ø200毫米(7英寸×7英寸) | 12000rpm |
EDC-650-15B | 650 系列 | ø300毫米(9英寸×9英寸) | 12000rpm |
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