Laurell匀胶旋涂机Spin Coater 使用说明

引言：

旋转涂覆技术所使用的设备是匀胶机。匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。那么，匀胶机应该如何安装和使用呢？

在上篇技术文章里，笔者给大家介绍了德国SPS POLOS SPIN150i匀胶机的安装和使用。本篇，笔者将给大家再介绍一款实验室常见的匀胶旋涂机——美国Laurell 650 匀胶机。

与POLOS SPIN150i匀胶机不同的是，Laurell 650匀胶机在安装使用之前需要在实验室准备一路气源（气体的压力需要可控在60~70psig）用来驱动Laurell 650匀胶机的真空阀，来达到真空吸附基片的作用。气体可以是氮气（N₂）,也可以是洁净干燥的空气，选择您觉得经济性好的即可。将Laurell 650匀胶机通气的CDA气管接到气源上，真空管接到真空泵上就安装好了。

Laurell 650匀胶机-使用操作步骤如下：

【1】打开匀胶机电源开关；

【2】打开气源阀门，调节减压阀，使气压缓缓上升至60~70psig之间，检查有无漏气点；

【3】打开真空泵电源开关；

【4】在面板上选择相应程序，按下“RUN MODE"键进入程序运行模式；

【5】打开盖子，选择合适托盘（使样片*盖住黑色O-ring），将样片放置于托盘中央，按“VACUUM"键吸住样片；

【6】将胶液滴在样片上，盖上顶盖，按下“START"键开始旋涂；

【7】旋涂完成，按下“VACUUM"键卸下真空，打开顶盖，取走样片；

【8】关机，顺序为真空泵电源开关-气源气阀-匀胶机电源开关；

【9】用无尘纸沾酒精或丙酮清洗托盘及旋涂腔体内壁；

【10】实验过程中，将用过的一次性耗材装入垃圾袋内，离开实验室时整理台面，带走垃圾袋。

*Laurell 650匀胶机-使用特别注意事项：

1、严禁将胶液滴入匀胶机吸盘中心的真空孔内；

2、从气源通入设备的气体压力不可过大，需要严格控制在60~70psig（即0.42~0.48MPa）之间；