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匀胶机(spin coater)如何安装和使用?(二)

发布时间:2022-06-06   点击次数:675次

引言:

旋转涂覆技术所使用的设备是匀胶机。匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。那么,匀胶机应该如何安装和使用呢?


在上篇技术文章里,笔者给大家介绍了德国SPS POLOS SPIN150i匀胶机的安装和使用。本篇,笔者将给大家再介绍一款实验室常见的匀胶旋涂机——美国Laurell 650 匀胶机

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与POLOS SPIN150i匀胶机不同的是,Laurell 650匀胶机在安装使用之前需要在实验室准备一路气源(气体的压力需要可控在60~70psig)用来驱动Laurell 650匀胶机的真空阀,来达到真空吸附基片的作用。气体可以是氮气(N2),也可以是洁净干燥的空气,选择您觉得经济性好的即可。将Laurell 650匀胶机通气的CDA气管接到气源上,真空管接到真空泵上就安装好了。

Laurell 650 spin coater 控制面板.jpg

Laurell 650匀胶机-使用操作步骤如下:

【1】打开匀胶机电源开关;

【2】打开气源阀门,调节减压阀,使气压缓缓上升至60~70psig之间,检查有无漏气点;

【3】打开真空泵电源开关;

【4】在面板上选择相应程序,按下“RUN MODE"键进入程序运行模式;

【5】打开盖子,选择合适托盘(使样片完全盖住黑色O-ring),将样片放置于托盘中央,按“VACUUM"键吸住样片;

【6】将胶液滴在样片上,盖上顶盖,按下“START"键开始旋涂;

【7】旋涂完成,按下“VACUUM"键卸下真空,打开顶盖,取走样片;

【8】关机,顺序为真空泵电源开关-气源气阀-匀胶机电源开关;

【9】用无尘纸沾酒精或丙酮清洗托盘及旋涂腔体内壁;

【10】实验过程中,将用过的一次性耗材装入垃圾袋内,离开实验室时整理台面,带走垃圾袋。


*Laurell 650匀胶机-使用特别注意事项:

1、严禁将胶液滴入匀胶机吸盘中心的真空孔内;

2、从气源通入设备的气体压力不可过大,需要严格控制在60~70psig(即0.42~0.48MPa)之间;

旋涂工艺的优化








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