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德国SPS POLOS匀胶机

更新时间:2022-09-01

访问量:1307

厂商性质:代理商

生产地址:德国

简要描述:
德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i采用无刷式马达,具有转速稳定,启动快速,涂胶一致性和均匀性好等特点,广泛应用于钙钛矿太阳能电池、半导体芯片制造、MEMS等领域。
品牌其他品牌价格区间5万-10万
产地类别进口应用领域环保,化工,能源,电子,印刷包装
适用基片最大尺寸160毫米直径圆片,4英寸方片;旋转转速范围1~12000RPM**
旋转最大加速度30000RPM/S转速精度±0.1rpm

一、德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i产品特点和技术参数:

1、结构:

(1)旋涂腔体直径为202毫米,适用于小尺寸碎片至160 mm 直径圆片或 4" x 4" 方片;

(2)NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蚀结构为整个系统提供更好的刚性和韧性;

(3)旋涂腔室材质为NPP(天然聚丙烯),特殊应用可选用高耐化学性的PTFE(TFM™);

(4)高品质无缝制造表面,全工程塑料;

(5)机身尺寸为:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm,适用于通风厨和手套箱使用;

2、数字电机控制:

(1)具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈;

(2)允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验,系统高速运行时更稳定,振动更少;

(3)提供高性能无刷电机,有着高精度的转速(±0.1 rpm)和宽范围的转速(1至12,000 rpm),这是传统PID电机控制器无法实现的;

3、程序配方数目存储不设限,可用于多个步骤的配方,每个配方均适用于:

(1)旋涂时间:0.1至99999秒/步

(2)旋涂转速:0至12,000 rpm

(3)旋转方向:顺时针,逆时针,顺、逆时针交换搅动;

(4)旋涂加速度:1至30,000 rpm / sec(每步可选);

(5)真空:开/关;

(6)3个可编程的干触点:例如用于分配单元,氮气扩散器等的自动控制;

4、设备控制器:

(1)可拆卸的全尺寸触摸屏,手套防护,IP 52,耐化学腐蚀;

(2)彩色触摸屏显示,可轻松编程速度,加速度和时间;

5、安全联锁:

(1)Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定,并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开;

(2)电磁盖联锁在打开时停止旋转,而真空联锁(可编程)在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转,防止伤害使用者并避免基材破裂;

(3)具有国际CE标志和过载保护的电气安全;

6、透明盖:

(1)透明盖清晰可见内部,带有注射器支架和N2扩散器,可手动分配注胶以及在处理过程中进行N2吹扫;

(2)注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质;

(3)控制室环境对于恒定的过程结果至关重要;

(4)坚固的自弹式盖铰链,可自动将盖保持在最佳状态,以便轻松搬运和卸下基板,同时确保盖子上的残留化学物质都流入系统排水口;

7、连接:

(1)三个可编程继电器输出,可用于操作自动分配系统,外部阀或其他附件。

(2)多种chuck可供选择,适用用于不同尺寸的基板。

8、USB端口:可轻松上传和下载配方以及更新软件版本;

9、存储:结构化和受密码保护的方案存储,可轻松安全地进行管理;

10、配套真空泵系统:无 油 型 220~240伏交流,50/60赫兹;


SPIN150i匀胶机的安装和使用

二、德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i应用领域:

1、适应于钙钛矿太阳能电池薄膜制备;

2、半导体芯片制造;

3、MEMS制版的表面涂覆;


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