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选择匀胶机的依据有什么?

发布时间:2022-12-20   点击次数:66次
  匀胶机用于晶片基底材料的表面光刻胶涂覆。匀胶机由样品台、滴胶装置和空心电动机组成,其工作原理是,通过在样品台上产生负压将需要旋涂的基底材料吸附在样品台上,光刻胶液滴注在基底材料的表面,通过准确控制电动机的旋转速度,以此来改变离心力的大小,同时通过控制胶液的流量来达到制备薄膜所需的厚度。
  匀胶机的选择方法?
  1、材质的选择
  匀胶机对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,国产的大部分匀胶机采用的是铁板喷漆或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
  2、旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误匀胶机图册差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。
  3、真空吸附系统的构造
  真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生飞片的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成堵塞。

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