更新时间:2023-01-01
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厂商性质:代理商
生产地址:国外
在设计制造中替代基于聚异戊二烯双叠氮(Polyioprene-Bisazide)的负胶。
在湿刻和电镀应用时很强的粘附力;很容易用去胶液去除。 单次旋涂厚度范围如下:﹤0.1~200 μm可在i、g以及h-line波长曝光
在湿刻和电镀应用时很强的粘附力;很容易用去胶液去除。
单次旋涂厚度范围如下:﹤0.1~200 μm可在i、g以及h-line波长曝光
避免了基于有机溶剂的显影和冲洗过优于传统正胶的优势:控制表面形貌的优异线宽 任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁;单次旋涂即可获得200 μm胶厚厚胶同样可得到优越的分辨率150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间;优异的感光度进而增加曝光通量更快的显影,100 μm的光刻胶显影仅需6 ~ 8分钟光刻胶曝光时不会出现气泡可将一种显影液同时应用于负胶和正胶;不必使用增粘剂如HMDS
单次旋涂即可获得200 μm胶厚
厚胶同样可得到优越的分辨率
150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间;
优异的感光度进而增加曝光通量
更快的显影,100 μm的光刻胶显影仅需6 ~ 8分钟光刻胶曝光时不会出现气泡
可将一种显影液同时应用于负胶和正胶;
不必使用增粘剂如HMDS
非常适合作为刻蚀掩模的抗干刻、湿刻性能;优异地利用PVD和lift-off加工进行图案转移能力;优异的电镀性能(酸和碱性镀液中*的稳定性);光刻胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影;
可用于甩胶和喷涂
加工负胶系列
于RIE
加工及
离子植
入的正胶
的选择性以及在离
子注入时优异的高
温耐受能力
200μm
可在i、g以及h-line
波长曝光
控制表面形貌的优异线宽任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁单次旋涂即可获得200 μm胶厚厚胶同样可得到优越的分辨率150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间优异的感光度进而增加曝光通量更快的显影,100 μm的光刻胶显影仅需6 ~ 8分钟光刻胶曝光时不会出现气泡可将一种显影液同时应用于负胶和正胶优异的温度阻抗直至180 ℃在反应离子束刻蚀或离子减薄时非常容易地增加能量密度,从而提高刻蚀速度和刻蚀通量非常容易进行高能量离子注入不必使用增粘剂如HMDS
控制表面形貌的优异线宽
任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁
150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间
更快的显影,100 μm的光刻胶显影仅需6 ~ 8分钟
光刻胶曝光时不会出现气泡
可将一种显影液同时应用于负胶和正胶
优异的温度阻抗直至180 ℃
在反应离子束刻蚀或离子减薄时非常容易地增加能量密度,从而提高刻蚀速度和刻蚀通量
非常容易进行高能量离子注入
级加工负胶系列
i线曝光
LED、OLED、
显示器、
MEMS、
封装、
生物芯片等
质上图案化,
不必使用RIE
加工器件的yong
久性组成
(OLED显示
器上的间隔
区)凸点、
互连、空中
连接微通道
梯形结构
0.5~20.0 μm
曝光
时省去干法刻蚀加工
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